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擴散硅壓力傳感器原理及應用
發(fā)布日期：2010-12-01 瀏覽次數(shù)：3372
擴散硅壓力傳感器原理及應用
被測介質的壓力直接作用于傳感器的膜片上（不銹鋼或陶瓷）， 使膜片產(chǎn)生與介質壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻值發(fā)生變化，和用電子線路檢測這一變化，并轉換輸出一個對應于這一壓力的標準測量信號。 
擴散硅壓力傳感器原理及應用原理圖
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