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擴散硅壓力傳感器原理及應用
  • 發(fā)布日期:2010-12-01      瀏覽次數(shù):3372
    • 擴散硅壓力傳感器原理及應用
        被測介質的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷), 使膜片產(chǎn)生與介質壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻值發(fā)生變化,和用電子線路檢測這一變化,并轉換輸出一個對應于這一壓力的標準測量信號。
        

      [1]
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